ISON级
|
粒子最大允许浓度Cn颗m3,粒径≥下列值,微米
|
|||||
0.1
|
0.2
|
0.3
|
0.5
|
1.0
|
5.0
|
|
ISO 1级
|
10
|
2
|
-
|
-
|
-
|
-
|
ISO 2级
|
100
|
24
|
10
|
4
|
-
|
-
|
ISO 3级
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
-
|
ISO 4级
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
-
|
ISO 5级
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
ISO 6级
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
ISO 7级
|
-
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
ISO 8级
|
-
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
ISO 9级
|
-
|
|
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
备注:浓度值Cn应四舍五入,小数点后保留三位,在实际情况下粒子浓度的实际误差是存在的,求不出精度很高的浓度。
|
序号
|
房间名称
|
面积
|
洁净度
|
对外
压差
|
温度
|
湿度
|
照度
|
新风
|
排风
|
|
M2
|
级
|
Pa
|
℃
|
%RH
|
Lux
|
%
|
||||
1
|
万级鉴定室1
|
23
|
7(万)
|
+20
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
2
|
万级鉴定室2
|
16
|
7(万)
|
+20
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
3
|
万级鉴定室3
|
10.3
|
7(万)
|
+20
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
4
|
缓冲间
|
6
|
7(万)
|
+15
|
20-26
|
40-70
|
200
|
30
|
无
|
|
5
|
准备间
|
2.6
|
无
|
0
|
20-26
|
40-70
|
200
|
30
|
无
|
|
(2)百级、千级实验室
|
||||||||||
1
|
百级实验室2
|
15.00
|
5(百)
|
+20
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
2
|
百级实验室1
|
6.10
|
5(百)
|
+20
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
3
|
千级实验室2
|
18.20
|
6(千)
|
+15
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
4
|
千级实验室1
|
15.70
|
6(千)
|
+15
|
20-26
|
40-70
|
300
|
30
|
无
|
|
5
|
千级洁净
走廊
|
11.40
|
6(千)
|
+10
|
20-26
|
40-70
|
250
|
30
|
无
|
|
6
|
千级洁净
准备间
|
|
7(万)
|
+10
|
20-26
|
40-70
|
250
|
30
|
无
|
|
6
|
更衣间
|
10.40
|
7(万)
|
+10
|
20-26
|
|
200
|
30
|
无
|
|
取样点编号
|
1m3空气中的粒子数或浓度,其粒径为
|
|
≥0.5
|
≥5.0
|
|
1
|
|
|
2
|
|
|
3
|
|
|
4
|
|
|
5
|
|
|
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